Chromium Target asosiy maʼlumotlari

I. Materialning asosiy xususiyatlari (materialning asosiy xususiyatlari)

1. Poklik va nopoklikni nazorat qilish

    Yuqori tozalik standarti:Sanoat darajasining tozaligi-xrom trubkasi maqsadlariodatda 99,5% (Cr99,5) dan 99,995% gacha (Cr99,995), yuqori-elektron maydonlar uchun (masalan, yarimo'tkazgich qoplamasi) u 99,999% (5N) yoki undan yuqori bo'lishi kerak. Nopoklik elementlarining tarkibi (temir, kremniy, alyuminiy, kislorod, uglerod) 10-100 ppm oralig'ida qat'iy nazorat qilinadi (ASTM F1367, YS/T 1220 standartlariga qarang).

Impurity influence: Low purity (such as Cr99.0 or below) chromium tube targets are prone to pinholes and defects in the coating layer due to impurity precipitation; excessive oxygen content (>500 ppm) maqsadli materialning mo'rtligini oshiradi va püskürtme paytida u "maqsadli zaharlanishga" moyil bo'lib, qoplamaning bir xilligiga ta'sir qiladi.

2. Kristal tuzilishi va zichligi

    Kristal shakli:Sof xrom xona haroratida barqaror boʻlgan va izomorfizm oʻzgarishiga ega boʻlmagan-tana markazlashgan kubik (BCC) kristall tuzilishga ega. Shuning uchun, xrom trubkasi maqsadlari qayta ishlash va püskürtme paytida faza o'zgarishi tufayli ichki stressga moyil emas.

    Zichlik talablari:Nazariy zichlik 7,19 g/sm³ ni tashkil qiladi va sinterlash va shakllantirishdan keyin xrom naychasining nisbiy zichligi 98% dan katta yoki teng bo'lishi kerak (yuqori so'nggi ilovalar uchun 99% dan katta yoki teng), zichlikning bir xillik og'ishi ±0,5% dan kam yoki teng bo'lishi kerak. Kam{6}}zichlikdagi maqsadli materiallarda gözenekler bo‘ladi va purkash vaqtida ular "zarrachalar chayqalishiga" moyil bo‘lib, qoplama yuzasida zarrachalar ifloslanishiga olib keladi.

II. Jismoniy va mexanik xususiyatlar (fizik va mexanik xususiyatlar)

1. Mexanik xossalari

      Qattiqlik:Tavlangan xrom naychalarining Vickers qattiqligi (HV) taxminan 160-200 ni tashkil qiladi va sovuq ishlov berishdan so'ng qattiqlikni HV 250-300 ga oshirish mumkin. Yuqori qattiqlik uni o'rnatish va püskürtme paytida deformatsiyaga kamroq moyil qiladi, lekin bu ishlov berish qiyinligini oshiradi (maxsus kesish asboblari talab qilinadi).

      Mo'rtlik va qattiqlik:Xrom odatiy mo'rt metall bo'lib, xona haroratida past ta'sirga chidamliligi (10J/sm² dan kam yoki unga teng) va past haroratlarda aniqroq mo'rtlik (<-50℃). Therefore, chromium tube targets need to avoid severe collisions during transportation and installation to prevent cracking; adding a small amount of titanium or zirconium (0.1%-0.3%) can improve toughness, but it requires balancing purity and mechanical properties.

2. Issiqlik va elektr xossalari

    Issiqlik o'tkazuvchanligi:Xona haroratida issiqlik o'tkazuvchanligi taxminan 93,7 Vt / (m・K), mis (401 Vt / (m・K)) va alyuminiydan (237 Vt / (m・K)) past. To'qnashuv vaqtida maqsad deformatsiyasiga yoki yorilishiga olib keladigan mahalliy qizib ketishning oldini olish uchun quvvat zichligini nazorat qilish kerak (odatda 5 Vt/sm² dan kam yoki unga teng).

    Qarshilik:Xona haroratida qarshilik taxminan 12,9 mkŌ sm ni tashkil qiladi, bu o'rtacha qarshilikka ega-metallga tegishli. Cho'kish paytida mos keladigan quvvat manbai (asosan, to'g'ridan-to'g'ri püskürtme uchun DC Magnetron Sputtering, yuqori{3}}chastotali püskürtme uchun RF, kompozit nishonlarni izolyatsiyalash uchun mos) mos kelishi kerak.

III. Sputtering ishlash xususiyatlari (Sputtering ishlashi)

1. Sputtering samaradorligi va cho'kish darajasi

    Cho'kish rentabelligi:Argon (Ar) atmosferasida, chayqalish kuchlanishi 500-800V va bosim 0,5-2Pa sharoitida xromning chayqalish rentabelligi taxminan 0,6-0,8 atom/ion (alyuminiynikidan 1,2 atom/iondan past) va cho‘kish tezligi (minimum quvvatga nisbatan odatda 500 mm) ni tashkil qiladi. o'rta qalinlikdagi plyonkalarni tayyorlash uchun mos keladi (masalan, 100-500 nm dekorativ plyonkalar, funktsional plyonkalar). Yo'nalish: Xrom atomining chayqalishidan so'ng, yo'nalish nisbatan kuchli. Maqsad va substrat orasidagi masofani optimallashtirish (odatda 8-15 sm) va qoplamaning bir xilligini ta'minlash uchun magnit maydon taqsimotini (muvozanatsiz magnetronli püskürtme yordamida) sozlash kerak (qalinligi og'ishi ± 5% dan kam yoki teng).

2. Qoplama qatlamining xarakteristikalari

    Adezyon:Xrom plyonkasining substratga (shisha, metall, plastmassa) yopishishi juda yaxshi. O'tish qatlamiga ehtiyoj sezmasdan 50N yoki undan ortiq yopishqoqlik kuchiga erisha oladi (chizish sinovi usuli yordamida), shuning uchun ko'pincha keyingi metallarning (nikel, mis kabi) yoki keramik qoplamalarning yopishishini kuchaytirish uchun "pastki qatlam" sifatida ishlatiladi.

    Optik va korroziyaga qarshilik:Xrom plyonkasi kumushrang{0}}kulrang ko'rinadi, aks ettirish qobiliyati taxminan 70%-80% (ko'rinadigan yorug'lik zonasida). U dekorativ qoplamalar uchun ishlatilishi mumkin; shu bilan birga, xrom plyonkasi yuzasi osongina zich oksidli plyonka (Cr₂O₃) hosil qilishi mumkin, neytral tuz purkagichining korroziyaga chidamliligi 200 soatdan ortiq yoki unga teng (5% NaCl eritmasi, 35 daraja), korroziyaga chidamli qoplama stsenariylariga mos keladi.

IV. Struktura va dasturga moslashish (tuzilish va dastur moslashuvi)

1. Odatda konstruktiv parametrlar

Shakl va spetsifikatsiya:Umumiy tashqi diametrlar 100 dan 300 mm gacha, uzunligi 300 dan 1500 mm gacha, devor qalinligi esa 5 dan 20 mm gacha. Ichki devorlar odatda silliq yoki joylashishni aniqlash yivlari bilan yaratilgan bo'lib, magnetronli purkash uskunasining aylanadigan nishon ushlagichiga mos keladi; sovutish suvi kanallari bilan muhrlanish va ulanishni osonlashtirish uchun ikkala uchini iplar yoki gardishlar bilan ishlov berish kerak.

Yuzaki ishlov berish: Maqsadli materialning purkash yuzasi aniq silliqlashdan o'tishi kerak (sirt pürüzlülüğü Ra 0,8 mkm dan kam yoki unga teng); Sovutish suvi ifloslanishini oldini olish uchun-tozalanmagan sirt (ichki devorlar, oxirgi yuzalar) korroziyaning oldini olish uchun (masalan, passivatsiya, yuqori-haroratga-bardoshli qoplamalar bilan qoplash) ishlov berilishi kerak.

2. Ilova stsenariysining moslashuvi

Bezatish va funktsional qoplama:Past tozaligi (Cr99.5) xrom trubkasi maqsadlari apparat va hammom mahsulotlariga dekorativ xrom qoplamasi uchun ishlatiladi; yuqori tozalik (Cr99.995) mobil telefon korpuslari va avtomobil ichki qismlarida PVD qoplamasi uchun ishlatiladi, bu ham estetikani, ham aşınmaya bardoshlilikni talab qiladi.

    Elektron va optik maydonlar:5N toifali yuqori{1}}soflikdagi xrom trubkasi nishonlari yarimo'tkazgich chiplarining o'tkazuvchan o'zaro bog'lanish qatlami uchun (Mis tarqalishining oldini olish uchun to'siq qatlami sifatida Cr) va optik linzalardagi aks ettirishga qarshi/aks ettiruvchi plyonkalar uchun qo'llaniladi.

Maxsus maydonlar: kremniy (Si) va uglerodni (C) xrom qotishma naychalari nishonlariga doping orqali yuqori{0}}haroratga chidamli-qoplamalar (qoliplar, dvigatel komponentlari kabi) uchun ishlatilishi mumkin bo‘lgan CrSiC kompozit plyonkasi xrom maqsadli materiallarni qo‘llash doirasini kengaytiradi.